Основы вакуумных технологий: учебное пособие/

Основы вакуумных технологий: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author: Орликов, Л. Н. Леонид Николаевич (Author)
Corporate Author: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Гынгазов, С. А., Шандаров, С. М.
Format: Book
Published: Томск: Издательство ТУСУРа 2021
Subjects:
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ТЕЧЕНИЕ ГАЗА
ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ
МАСЛА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ГИГИЕНА ПОМЕЩЕНИЙ
ГИГИЕНА ПЕРСОНАЛА
ОЧИСТКА ВОЗДУХА
ТРАВЛЕНИЕ
ЭПИТАКСИЯ
ЛИТОГРАФИЯ
ПЛАВКА МАТЕРИАЛОВ
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
НАНОПОРОШКИ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items