Основы вакуумных технологий: учебное пособие/

Основы вакуумных технологий: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главный автор: Орликов, Л. Н. Леонид Николаевич (Автор)
Соавтор: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы: Гынгазов, С. А., Шандаров, С. М.
Формат: Книга
Публикация: Томск: Издательство ТУСУРа 2021
Предметы:
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ТЕЧЕНИЕ ГАЗА
ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ
МАСЛА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ГИГИЕНА ПОМЕЩЕНИЙ
ГИГИЕНА ПЕРСОНАЛА
ОЧИСТКА ВОЗДУХА
ТРАВЛЕНИЕ
ЭПИТАКСИЯ
ЛИТОГРАФИЯ
ПЛАВКА МАТЕРИАЛОВ
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
НАНОПОРОШКИ
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы