Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN: диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN: диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Библиографическая информация
Главный автор:	Сим, П. Е. Павел Евгеньевич (Автор)
Соавтор:	ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 ФГАОУ ВО "Нацианальный исследовательский Томский государственный университет"(Томск)21 АО "Научно-производственная фирма "Микран"(Томск)
Другие авторы:	Троян, П. Е. Павел Ефимович, Брудный, В. Н. Валентин Натанович
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2018
Предметы:	НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ ДИССЕРТАЦИИ ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN: автореферат диссертации ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
по: Сим, П. Е. Павел Евгеньевич
Публикация: (2018)

Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT

Модификация поверхности карбидовольфрамового композиционного материала методами электронно-ионно-плазменного воздействия

Нанесение неорганических покрытий теория, технология, оборудование : учебное пособие для вузов по направлению "Материаловедение и технология новых материалов"
по: Бобров, Геннадий Васильевич
Публикация: (2004)

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
по: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Публикация: (2012)

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
по: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Публикация: (2020)

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/
по: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Публикация: (2020)

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
по: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Публикация: (2010)

Вакуумное нанесение тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1967)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
по: Галперин, Вячеслав Александрович
Публикация: (2010)

Электронно-ионно-плазменная модификация поверхности магниевого сплава MA-2 для формирования легированных слоев с улучшенными механическими свойствами

Электрофизические и физико-химические свойства омических контактов для соединений III-N

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств
Публикация: (1982)

Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Ерофеев, Е. В. Евгений Викторович
Публикация: (2012)

Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Ерофеев, Е. В. Евгений Викторович
Публикация: (2012)

Конструкции и технология СВЧ GaN транзисторов Х-диапазона для систем радиолокации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 05.27.01- Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах/
по: Курмачев, В. А. Виктор Алексеевич
Публикация: (2013)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Plasma-assited deposition of dielectric coatings for electrical insulation

О некоторых особенностях взаимодействия материалов при плазменном напылении
по: Кузнецов, Гений Владимирович 1949-

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий

Кинетика и механизм образования мезоферрита в низкоуглеродистой низколегированной стали 20Х2НАч
по: Чепрасов, Дмитрий Петрович

Оптимизация скорости травления Si в плазме CF4/O2
по: Григорьев, Юрий Николаевич

Покрытия различного назначения для металлических материалов [учебное пособие для вузов по направлению подготовки магистров 150100 "Материаловедение и технологии материалов"]
по: Ильин, Александр Анатольевич
Публикация: (2013)

Физические основы формирования наноструктурированных биосовместимых покрытий на медицинских имплантатах
по: Мельникова, Ираида Прокопьевна

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Исследование структуры и механических свойств покрытий AlMgB14

Формирование никельсодержащих покрытий методами электронно-лучевой наплавки и плазменного напыления

Получение покрытий высокотемпературным распылением: сборник статей/
Публикация: (1973)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для бакалавриата и магистратуры
Публикация: (2016)

Многослойные гетероструктуры AIN/AlGaN/GaN/AlGaN с квантовыми ямами для мощных полевых СВЧ-транзисторов

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Публикация: (2011)

Влияние ионно-плазменного трибологического покрытия Ti-C-Mo-S на сопротивление микродеформации крупнозернистого и субмикрокристаллического титанового сплава ВТ6

3D bioactive coatings with a new type of porous ridge/cavity structure

Электрическая проводимость и теплопроводность твердого раствора Sn1-xMnxTe (0 ≥ x ≥ 0.04)
по: Ахундова, Наиля Мубин гызы

Электрические свойства монокристаллов SnTe с избытком олова и структур SnTe - металл
по: Ахундова, Наиля Мубин гызы

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
по: Калита, Василий Иванович
Публикация: (2008)

Моделирование процесса растекания расплавленной частицы на подложке при плазменном напылении
по: Кузнецов, Гений Владимирович 1949-

The surface roughening of GaN by wet chemical etching