Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск
2018
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008716979?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 21 с.: a-рис. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 19-20 |