Гренадёров, А. С. А. С., & Соловьев, А. А. А. А. (2018). Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника.
Chicago-стиль цитированияГренадёров, А. С. Александр Сергеевич, and А. А. Андрей Александрович Соловьев. Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника. Томск, 2018.
MLA-цитированиеГренадёров, А. С. Александр Сергеевич, and А. А. Андрей Александрович Соловьев. Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника. 2018.
