Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2018
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 142 с.: a-граф. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 125-141 |
