Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Библиографическая информация
Главный автор: Гренадёров, А. С. Александр Сергеевич (Автор)
Соавтор: ФГБУН Институт сильноточной электроники СО РАН(Томск)
Другие авторы: Соловьев, А. А. Андрей Александрович
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2018
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:142 с.: a-граф.
Библиография:Библиогр.: с. 125-141