Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Bibliographic Details
Main Author: Гренадёров, А. С. Александр Сергеевич (Author)
Corporate Author: ФГБУН Институт сильноточной электроники СО РАН(Томск)
Other Authors: Соловьев, А. А. Андрей Александрович
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2018
Subjects:
НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ
ДИССЕРТАЦИИ
АЛМАЗОПОДОБНЫЕ УГЛЕРОДЫ
ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
АДГЕЗИЯ
ВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ЭЛЕКТРОПИТАНИЕ
ВАКУУМНЫЕ ПРОМЕЖУТКИ
СПЕКТРЫ ПРОПУСКАНИЯ
ПОСТОЯННЫЙ ТОК
БИПОЛЯРНЫЕ ИСТОЧНИКИ
ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:142 с.: a-граф.
Bibliography:Библиогр.: с. 125-141

Similar Items