Форвакуумный плазменный источник ленточного электронного пучка для пучково-плазменной модификации диэлектриков: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 1.3.5 - Физическая электроника/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 126 с.: a-граф. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 113-125 |