Ионная имплантация: монография/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Главная редакция физико-математической литературы
1983
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 360 с.: a-рис. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 345-360 |