Ионная имплантация: монография/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Другие авторы: | , , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Главная редакция физико-математической литературы
1983
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 360 с.: a-рис. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 345-360 |