Программно-аппаратный комплекс автоматизированного визуального контроля при производстве монолитных интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2022
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01011401477?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 16 с.: a-цв. ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 14-16 |