Модели и методы синтеза и легирования массивов углеродных нанотрубок для создания изделий кремний - углеродной наноэлектроники: автореферат ... доктора физико-математических наук: 2.2.2/

Библиографическая информация
Главный автор: Павлов, А. А. Александр Александрович (Автор)
Соавтор: Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук(Москва)
Другие авторы: Сауров, А. Н., Булярский, С. В.
Формат: Книга
Публикация: Москва 2023
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 02060nam a2200301 i 4500
001 LibTUSUR0000085238
008 201102s2023 ru_aa l000 0yrus d
040 |a torina  |b rus 
100 1 |a Павлов, А. А.  |q Александр Александрович  |4 aut 
245 0 0 |a Модели и методы синтеза и легирования массивов углеродных нанотрубок для создания изделий кремний - углеродной наноэлектроники:   |b автореферат ... доктора физико-математических наук: 2.2.2/  |c А. А. Павлов ; науч. кон.: А. Н. Сауров, С. В. Булярский; Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва) 
260 |a Москва  |c 2023 
300 |a 38 с.:  |b a-табл. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ 
653 0 |a АВТОРЕФЕРАТЫ 
653 0 |a МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ 
653 0 |a НАНОЧАСТИЦЫ 
653 0 |a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ 
653 0 |a ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ 
653 0 |a КАТАЛИЗАТОРЫ 
653 0 |a РЕАКТОРЫ 
653 0 |a ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i П 121  |p 464462  |b сбо 
080 |a 620.3:621.389(043.3)  |a 547.022.1(043.3) 
700 1 |a Сауров, А. Н. 
700 1 |a Булярский, С. В. 
710 2 1 |a Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук(Москва) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/П 121-148048781