Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмот...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Издательский Центр РИОР
2019
|
| Series: | Высшее образование: Бакалавриат
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=355648 https://znanium.com/cover/1013/1013436.jpg |
| LEADER | 03225nam a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | zna1013436 | ||
| 006 | m o | ||
| 007 | cr | ||
| 008 | 230315d2020 RU s rus | ||
| 040 | |a RU |b rus |c RU |d Ru-ToGu | ||
| 080 | |a 544.6:621.3(075.8) | ||
| 084 | |a 24.57я73 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.03.01 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.03.02 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.03.03 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.04.02 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.04.03 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.04.04 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Гаврилов, А.С. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники |b Учебное пособие |
| 260 | 2 | |a Москва |b Издательский Центр РИОР |c 2019 | |
| 300 | |a 240 с. | ||
| 490 | 1 | |a Высшее образование: Бакалавриат | |
| 520 | |a Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур особенности получения и применения пористого кремния описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа катодного осаждения металлов и полупроводников их применение в технологии УБИС МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов аспирантов научных работников и инженеров. | ||
| 650 | 1 | 0 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |
| 700 | 1 | |a Белов, А.Н. | |
| 830 | |a Высшее образование: Бакалавриат | ||
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=355648 |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=355648 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1013 |f 1013436.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1013/1013436.jpg |a znanium.com |d /cover/1013 |f 1013436.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1013/1013436.jpg |
| 910 | |a ЭБС Знаниум | ||