Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |
