Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления Учебное пособие
Междисциплинарное учебное пособие предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры обучающимися по направлениям подготовки Техносферная безопасность Нанотехнологии и микросистемная техника и Конструирование и технология электронных средств. Рассмотрены основные закономерности обр...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Электронная книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2019
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=357411 https://znanium.com/cover/1088/1088135.jpg |
| Итог: | Междисциплинарное учебное пособие предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры обучающимися по направлениям подготовки Техносферная безопасность Нанотехнологии и микросистемная техника и Конструирование и технология электронных средств. Рассмотрены основные закономерности образования свойства и примеры использования золь-гель-пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния карбида кремния нитрида кремния и легированных хлором - меди (I). |
|---|---|
| Объем: | 152 с. |