Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобще...

Полное описание

Библиографическая информация
Главный автор: Васильев, В.Ю
Формат: Электронная книга
Язык:Russian
Публикация: Новосибирск Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) 2019
Предметы:
Online-ссылка:https://znanium.com/catalog/document?id=397452
https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg
LEADER 04718nam a2200289 i 4500
001 zna1868895
006 m o
007 cr
008 220303d2022 RU s rus
040 |a RU  |b rus  |c RU  |d Ru-ToGu 
080 |a 539 
080 |a 621 
084 |a 312  |2 rubbk 
084 |a 11.03.04  |2 okso 
084 |a 11.04.04  |2 okso 
084 |a 11.06.01  |2 okso 
084 |a 28.03.01  |2 okso 
084 |a 28.04.01  |2 okso 
100 1 |a Васильев, В.Ю. 
245 1 0 |a Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники  |b Учебное пособие  |c Новосибирский государственный технический университет 
260 2 |a Новосибирск  |b Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)  |c 2019 
300 |a 107 с. 
520 |a Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий рассмотрены тенденции развития типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины Семинары по специальности образовательная программа: 11.04.04. Электроника и наноэлектроника магистерская программа Микро- и наноэлектроника. Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 (Электроника и наноэлектроника) 28.03.01 и 28.04.01 (Нанотехнологии и микросистемная техника) в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники микросистемной техники наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 Электроника радиотехника и системы связи представляет интерес для технологов производства ИМС исследователей в области нанотехнологий. 
650 1 0 |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь  |x Микроэлектроника. Наноэлектроника 
856 4 |a znanium.com  |m ebs_support@infra-m.ru  |n НИЦ ИНФРА-М  |u https://znanium.com/catalog/document?id=397452  |a znanium.com  |m ebs_support@infra-m.ru  |n НИЦ ИНФРА-М  |u https://znanium.com/catalog/document?id=397452 
856 4 1 |a znanium.com  |d /cover/1868  |f 1868895.jpg  |q image/jpeg  |u https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg  |a znanium.com  |d /cover/1868  |f 1868895.jpg  |q image/jpeg  |u https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg 
910 |a ЭБС Знаниум