Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобще...
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | Электронная книга |
Язык: | Russian |
Публикация: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2019
|
Предметы: | |
Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
LEADER | 04718nam a2200289 i 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | zna1868895 | ||
006 | m o | ||
007 | cr | ||
008 | 220303d2022 RU s rus | ||
040 | |a RU |b rus |c RU |d Ru-ToGu | ||
080 | |a 539 | ||
080 | |a 621 | ||
084 | |a 312 |2 rubbk | ||
084 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
084 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
084 | |a 11.06.01 |2 okso | ||
084 | |a 28.03.01 |2 okso | ||
084 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
100 | 1 | |a Васильев, В.Ю. | |
245 | 1 | 0 | |a Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники |b Учебное пособие |c Новосибирский государственный технический университет |
260 | 2 | |a Новосибирск |b Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |c 2019 | |
300 | |a 107 с. | ||
520 | |a Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий рассмотрены тенденции развития типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины Семинары по специальности образовательная программа: 11.04.04. Электроника и наноэлектроника магистерская программа Микро- и наноэлектроника. Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 (Электроника и наноэлектроника) 28.03.01 и 28.04.01 (Нанотехнологии и микросистемная техника) в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники микросистемной техники наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 Электроника радиотехника и системы связи представляет интерес для технологов производства ИМС исследователей в области нанотехнологий. | ||
650 | 1 | 0 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |
856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=397452 |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=397452 | |
856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1868 |f 1868895.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |a znanium.com |d /cover/1868 |f 1868895.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
910 | |a ЭБС Знаниум |