Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобще...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
