Технология интегральных микросхем Учебное пособие
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 Констру...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=434586 https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |
| Summary: | Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств профиль Конструирование и технология электронных средств. |
|---|---|
| Physical Description: | 244 с. |