Технология интегральных микросхем Учебное пособие
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 Констру...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=434586 https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |
| LEADER | 01988nam a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | zna2100449 | ||
| 006 | m o | ||
| 007 | cr | ||
| 008 | 231013d2023 RU s rus | ||
| 040 | |a RU |b rus |c RU |d Ru-ToGu | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 084 | |a 3296 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Смирнов, В.И. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Технология интегральных микросхем |b Учебное пособие |c Ульяновский государственный технический университет |
| 260 | 2 | |a Вологда |b Инфра-Инженерия |c 2023 | |
| 300 | |a 244 с. | ||
| 520 | |a Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств профиль Конструирование и технология электронных средств. | ||
| 650 | 1 | 0 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=434586 |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=434586 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/2100 |f 2100449.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |a znanium.com |d /cover/2100 |f 2100449.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |
| 910 | |a ЭБС Знаниум | ||