Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме...

by Ануров, А. Е.
Published in Наноматериалы и наноструктуры международный научно-технический и теоретический журнал

Возможности метода электронно-зондового рентгеновского микроанализа для определения состава наноразмерных пленок цирконата-титаната свинца...

Published in Наноматериалы и наноструктуры международный научно-технический и теоретический журнал