Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий: учебное пособие/

by Золотухин, Д. Б. Денис Борисович, Тюньков, А. В. Андрей Владимирович, Климов, А. С. Александр Сергеевич, Окс, Е. М. Ефим Михайлович, Юшков, Ю. Г.
Published 2020