Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.....

по Василенко, Н. В. Николай Васильевич, Иванов, Е. Н. Евгений Николаевич, Ковалев, Л. К. Лев Кузьмич
Публикация 1996

Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.....

по Василенко, Н. В. Николай Васильевич, Иванов Евгений Николаевич, Ковалев Лев Кузьмич
Публикация 1995