Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов: Пер. с англ./

by Херриот, Д. Р. Дональд, Хендерсон, Р. К., Балантайн, Дж. П., Брюэр, Д. Р. Джордж, Гринич, Д. С. Джеймс
Published 1984