Отжиг нитрида галлия при электронно-лучевой обработке

по Баровский, Н. В.
Опубликовано в: Девятая конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V", 3-5 октября 2006 г., Томск, Россия : материалы конференции