Нитрид кремния в электронике/

по Белый, В. И. Вячеслав Иванович, Васильева, Л. Л. Людмила Львовна, Гриценко, В. А. Владимир Алексеевич, Гиновкер, А. С. Андрей Самсонович, Репинский, С. М. Сергей Маркович
Публикация 1982