Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии: учебно-методический комплекс/...

by Светухин, В. В., Вострецов, Д. Я.
Published 2006

Кинетика кластеризации и преципитации примесей и легирующих элементов в перспективных материалах электронной и атомной техники: учебно-методический комплекс/...

by Светухин, В. В., Вострецов, Д. Я.
Published 2006