Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия: научное издание/

by Лапидус, И. И. Илья Иосифович, Орион, Б. В. Борис Валентинович, Кожитов, Л. В. Лев Васильевич, Аникин, В. К. Виктор Константинович, Скворцов, И. М. Игорь Михайлович
Published 1978