Введение в фотолитографию: учебное издание/

by Боков, Ю. С. Юрий Сергеевич, Корсаков, В. С. Владимир Сергеевич, Лаврищев, В. П. Вадим Петрович, Лубашевская, А. В. Аврора Васильевна
Published 1977