Особенности микроструктуры нанокомпозитных сверхтвердых покрытий Ti-Al-Si-N и их свойства

by Марковчина, А. Б.
Published in Физика твердого тела : сборник материалов X Российской научной студенческой конференции, 4-6 мая 2006 г., Томск, Россия