Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./

по Толливер, Д. Л. Дональд, Новицки, Р. С. Рональд, Хесс, Д. У. Деннис, Горчика, Т. Б., Горовитц, Б. Бернард
Публикация 1987