Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов/

by Пресс, Ф. П. Феликс Павлович
Published 1968

Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов/

by Сироткин, В. С. Валерий Степанович, Пресс, Ф. П. Феликс Павлович
Published 1979