Исследование методом атомно-силовой микроскопии влияния технологических обработок на состояние поверхности GaAs (100)...

by Тюхрин, Т. С.
Published in Физика твердого тела : сборник материалов XI Российской научной студенческой конференции, 13-15 мая 2008 г., Томск, Россия