Электронно-микроскопическое исследование медных пленок, нанесенных на кремниевые подложки методом низкотемпературного химического осаждения из паровой фазы...

by Шейн, Д. Я.
Published in Физика твердого тела : материалы IX Российской научной студенческой конференции, 12-14 мая 2004 г.