Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/

by Симонов, В. В. Владимир Валентинович, Корнилов, Л. А. Лев Александрович, Шешелев, А. В. Алексей Васильевич, Шокин, Е. В. Евгений Викторович
Published 1988