Физические основы кремниевой наноэлектроники учебное пособие для вузов
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэл...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Лаборатория знаний
2020
|
| Edition: | 4-е изд. |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/135537 https://e.lanbook.com/img/cover/book/135537.jpg |
