Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2013/36.pdf |
