Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно...

Full description

Bibliographic Details

Other Authors:	Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, Шулепов физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук, Дектярев физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, Степанов физик заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск Изд-во ТПУ 2014
Subjects:	Плазменное напыление > Физико-химические процессы покрытия формирование ионно-плазменные методы твердые тела поверхности модификация вакуумно-дуговые испарения напыление пленки ионная имплантация тлеющий разряд газоразрядная плазма установка радуга-спектр учебные пособия труды учёных ТПУ
Online Access:	Перейти в каталог НТБ ТПУ