|
|
|
|
| LEADER |
03723nam a2200409 4500 |
| 001 |
libtpu00285339 |
| 008 |
150224s2014 ru a k 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook309576
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74(075.8)
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей
|b учебное пособие
|c Н. Н. Никитенков [и др.]
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b Изд-во ТПУ
|c 2014
|
| 300 |
|
|
|a 68 с.
|b ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 67.
|
| 520 |
|
|
|a Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка Радуга-Спектр кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 Физика конденсированного состояния вещества.
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Плазменное напыление
|x Физико-химические процессы
|
| 653 |
|
|
|a покрытия
|
| 653 |
|
|
|a формирование
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменные методы
|
| 653 |
|
|
|a твердые тела
|
| 653 |
|
|
|a поверхности
|
| 653 |
|
|
|a модификация
|
| 653 |
|
|
|a вакуумно-дуговые испарения
|
| 653 |
|
|
|a напыление
|
| 653 |
|
|
|a пленки
|
| 653 |
|
|
|a ионная имплантация
|
| 653 |
|
|
|a тлеющий разряд
|
| 653 |
|
|
|a газоразрядная плазма
|
| 653 |
|
|
|a установка радуга-спектр
|
| 653 |
|
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
1 |
|
|a Никитенков
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Николай Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Шулепов
|c физик
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|g Иван Анисимович
|
| 700 |
1 |
|
|a Дектярев
|c физик
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета
|g Сергей Валентинович
|
| 700 |
1 |
|
|a Степанов
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
|g Игорь Борисович
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НТБ ТПУ
|u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=285339
|
