Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Показать другие варианты (2)

Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно...

Полное описание

Библиографическая информация
Другие авторы: Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, Шулепов физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук, Дектярев физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, Степанов физик заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск Изд-во ТПУ 2014
Предметы:
Плазменное напыление > Физико-химические процессы
покрытия
формирование
ионно-плазменные методы
твердые тела
поверхности
модификация
вакуумно-дуговые испарения
напыление
пленки
ионная имплантация
тлеющий разряд
газоразрядная плазма
установка радуга-спектр
учебные пособия
труды учёных ТПУ
Online-ссылка:Перейти в каталог НТБ ТПУ

Internet

Перейти в каталог НТБ ТПУ

Похожие документы