Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно...
| Other Authors: | Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, Шулепов физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук, Дектярев физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, Степанов физик заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
Изд-во ТПУ
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
Similar Items
-
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (2013) -
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (2014) - Источник ионов на основе вакуумного дугового и тлеющего разрядов для модификации поверхности полимерных материалов
- Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов
- Влияние ионно-плазменного трибологического покрытия Ti-C-Mo-S на сопротивление микродеформации крупнозернистого и субмикрокристаллического титанового сплава ВТ6
