Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Бумагина, А. И. физик младший научный сотрудник Томского политехнического университета 1987-
Other Authors:	Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2015
Subjects:	Электрический разряд авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ физика вакуумные дуги импульсно-периодический потенциал мишени смещения плазма фильтрация ионно-плазменное осаждение покрытия ионно-плазменная обработка металлы имплантация вакуумно-дуговая плазма микрокапельная фракция
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2015/72.pdf

Similar Items