LEADER 02276nlm a2200433 4500
001 libtpu00308232
008 151029s2015 ru a d 0001 m rus
035 0 0 |a (RuTPU)RUTPUbook333541 
035 0 0 |a RUTPUbook333533 
040 |a RU  |b rus  |c RU  |d Ru-TPU 
080 |a 537.52(04) 
084 |a 01.04.20  |2 oksvnk 
100 1 |a Бумагина, А. И.  |c физик  |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета  |d 1987- 
245 1 0 |a Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения  |b автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук  |b спец. 01.04.20  |c А. И. Бумагина 
260 |a Томск  |c 2015 
300 |a 1 файл (3.9 Mb) 
500 |a Заглавие с титульного экрана 
500 |a Электронная версия печатной публикации 
650 1 0 |a Электрический разряд 
653 |a авторефераты диссертаций 
653 |a электронный ресурс 
653 |a труды учёных ТПУ 
653 |a физика 
653 |a вакуумные дуги 
653 |a импульсно-периодический потенциал 
653 |a мишени 
653 |a смещения 
653 |a смещения 
653 |a плазма 
653 |a фильтрация 
653 |a ионно-плазменное осаждение 
653 |a покрытия 
653 |a ионно-плазменная обработка 
653 |a металлы 
653 |a имплантация 
653 |a вакуумно-дуговая плазма 
653 |a микрокапельная фракция 
700 1 |a Рябчиков  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |g Александр Ильич  |4 727 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2015/72.pdf