Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Бумагина, А. И. физик младший научный сотрудник Томского политехнического университета 1987-
Other Authors:	Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск [Б. и.] 2015
Subjects:	Электрический разряд физика вакуумные дуги смещение макрочастицы вакуумно-дуговая плазма импульсно-периодический потенциал плазма ионно-плазменная обработка микрокапельная фракция имплантация металлы покрытия ионно-плазменное осаждение фильтрация мишени авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Online Access:	Перейти в каталог НТБ ТПУ

Similar Items