Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546 |
| Примечание: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации |
|---|---|
| Объем: | 1 файл (3.77 Мb) |
