Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Other Authors:	Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2016
Subjects:	Тонкопленочные покрытия авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ свойства тонкие пленки оксид титана аморфный углерод магнетронные системы магнетронные распылительные системы модифицирующие покрытия функциональные покрытия осаждение плазма магнетронные разряды тлеющие разряды электрические поля магнитные поля
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560

Similar Items