Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
[Б. и.]
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Объем: | 134 л. ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 116-133 (173 назв.) |
