Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Other Authors:	Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2017
Subjects:	Магнетроны электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ осаждение металлические покрытия жидкофазные мишени тонкие пленки материаловедение магнетронные распылительные системы самораспыление физико-механические свойства медные покрытия теплофизические характеристики
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45781

Similar Items