Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Other Authors:	Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск [Б. и.] 2017
Subjects:	Магнетроны жидкофазные мишени фазовые превращения металлические покрытия скоростное осаждение твердые тела модифицирующие плазменные покрытия магнетронные распылительные системы функциональные характеристики медные покрытия свойства исследование авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Online Access:	Перейти в каталог НТБ ТПУ

Similar Items