Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографическая информация
Главный автор: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Другие авторы: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск [Б. и.] 2017
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НТБ ТПУ
LEADER 02237nam a2200373 4500
001 libtpu00340259
008 180312s2017 ru a d 0001 m rus
035 0 0 |a (RuTPU)RUTPUbook367002 
040 |a RU  |b rus  |c RU  |d Ru-TPU 
040 |a RU  |c RU  |d Ru-TPU 
080 |a 621.385.64(04) 
084 |a 01.04.07  |2 oksvnk 
100 1 |a Юрьева, А. В.  |c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий  |c ассистент Томского политехнического университета  |d 1983- 
245 1 0 |a Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью  |b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  |b спец. 01.04.07  |c А. В. Юрьева 
260 |a Томск  |b [Б. и.]  |c 2017 
300 |a 22 с.  |b ил. 
500 |a Защита сост. 27.12.2017 г. 
504 |a Библиогр.: с. 21-22 (13 назв.) 
650 1 0 |a Магнетроны 
653 |a жидкофазные мишени 
653 |a фазовые превращения 
653 |a металлические покрытия 
653 |a скоростное осаждение 
653 |a твердые тела 
653 |a модифицирующие плазменные покрытия 
653 |a магнетронные распылительные системы 
653 |a функциональные характеристики 
653 |a медные покрытия 
653 |a свойства 
653 |a исследование 
653 |a авторефераты диссертаций 
653 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Кривобоков  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |g Валерий Павлович  |4 727 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТПУ  |u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340259