Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Other Authors:	Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2018
Subjects:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры плазма распылительные системы магнетронные системы коррозионная стойкость
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755

Similar Items